Maxsus gaz sanoatiga e'tibor qarating

Elektron gazlarga elektron maxsus gazlar va elektron quyma gazlar kiradi.Ular integral mikrosxemalar, displey panellari, yarimo'tkazgichli yoritish, fotovoltaiklar va boshqa sanoat tarmoqlarini ishlab chiqarish jarayonida ajralmas va asosiy materiallardir.Elektron maxsus gazlar integral mikrosxemalar ishlab chiqarish uchun zarur yordamchi materiallardir.Ular fotolitografiya, etching, plyonka hosil qilish, tozalash, doping, cho'kma va boshqa texnologik aloqalarda keng qo'llaniladi.Ular yarimo'tkazgich sanoatining "oziq-ovqat" va "qoni" deb nomlanuvchi tozalik, barqarorlik, qadoqlash idishlari va boshqalar uchun yuqori talablarga ega.Integratsiyalashgan elektron ishlab chiqarish minglab jarayonlarni o'z ichiga oladi, ular juda murakkab va yuzlab elektron maxsus gazlardan foydalanishni talab qiladi.Integral mikrosxemalar ishlab chiqarishda elektron gazlarni turli jarayonlarga ko'ra doping gazlari, ion implantatsiya gazlari, tozalovchi gazlar, etching gazlari va fotolitografiya gazlariga bo'lish mumkin;elektron gazlar keng qo'llaniladi va yuqori texnik talablarga ega.Manbalar va ularning ta'minot tizimlari talabchan talablarga ega.Gazning tozaligi maxsus gaz mahsulotlarining asosiy parametri bo'lib, u o'ta toza va ultra tozalikni talab qiladi.Ultrapure 4,5N, 5N yoki hatto 6N yoki 7N ga yetishi uchun gaz tozaligini talab qiladi.Har safar tozalik bir N ga oshganda va zarrachalar va metall aralashmalari konsentratsiyasi bir darajaga kamayganda, gazning tozaligi bir darajaga ortadi.Jarayonning murakkabligi va qiyinligida sezilarli yaxshilanishlar olib keladi.Aralashtirilgan gaz uchun nisbatning aniqligi asosiy parametrdir.Mahsulot komponentlari ortib borishi va tayyorlashning aniqligi oshgani sayin, gaz etkazib beruvchilardan ko'pincha turli ppm yoki hatto ppb darajasidagi konsentratsiyali gaz komponentlarida aniq operatsiyalarni bajarish talab etiladi.